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部分工業廢水含有濃度極高之離子，如純水系統中除硬度樹脂之反洗再生廢水，然多數事業單位並未針對離子進行處理即直接排入承受水體。在現今淡水資源日益短缺與環保法令日益嚴格情況下，高濃度離子(鹽分)廢水排放勢必面臨更多關注與限制。吸附式脫鹽(Adsorption desalination, AD)技術由於可利用低溫熱源驅動水回收程序，具有以低成本全回收高鹽分廢水優勢。本研究測試以AD技術全回收半導體業所產生含高濃度硫酸鈉廢水，並分析其相關能源利用效益。實驗室測試結果顯示，半導體高濃度硫酸鈉廢水以AD技術全回收，可得脫鹽效率達99.99 ％之淡水，惟其所含氨(銨)亦會一併揮發並被收集於淡水中，再利用時須注意氨(銨)問題。又結合AD技術與多效蒸發技術進行高濃度硫酸鈉廢水回收，可降低多效蒸發技術最後一效操作溫度，增加熱能回收效數進而提高熱能利用效率與降低第一效起始溫度。與傳統多效蒸發技術相較，AD技術結合多效蒸發技術，其一次蒸氣需要量可減少約30 ％，並可利用廢熱作為熱源，有助於降低高濃度硫酸鈉廢水熱蒸發回收之能源成本。