半導體產業無機酸廢氣洗滌系統效率提升
The Efficiency Improvement of Wetting Scrubber for the Control of Inorganic Acid Pollutants from the Exhaust of Semiconductor Manufacturing Factories期刊論文
「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」中，規定硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等無機酸廢氣，在無法證明採用濕式洗滌設備處理效率可符合規定時，得採「洗滌循環水槽之 pH 值」、「潤濕因子」、「填充段空塔滯留時間」及「填充物比表面積」等控制條件符合規定值方式替代。然此些控制條件為工程經驗簡化而得之填充塔參數，難以與濕式洗滌設備之無機酸廢氣實際處理成效產生直接關聯。填充塔為一常見於化工、製藥、紡纖、石化...等產業應用之氣液質傳(吸收、氣提與分離純化)單元，已累積大量技術學理知識與實務應用經驗，與效能有關之參數與影響因子主要有「填充物」、「液氣比」、「除霧器」、「流體分布」與「循環水水質」等，本文將介紹其相對於濕式洗滌塔之無機酸廢氣處理效率關係。其中，尤以填充物此一核心部件對填充塔整體運轉成效最具關鍵影響。目前環境保護之填充塔應用多採用散裝填充物，雖有成本低、易工程應用等特色，但也因不規則特性致使處理成效難以掌握。規整性填料的出現大幅改善散裝填料性能缺失，幾已成為石油、化工等需高效分離純化單元之製程首要選擇，具有甚高作為無機酸廢氣濕式洗滌處之理應用潛力。期許本文所介紹之填充塔本質特性，可作為業界提升無機酸濕式洗滌廢氣成效之改進參考。
作者：劉文宗,徐樹剛
★文章出處：潔淨科技季刊 (2022年)
